通知公告采购人：中国科学院上海技术物理研究所
地址：上海市虹口区玉田路500号
一、采购项目名称：BYC晶圆表面钝化处理系统
二、资金来源：项目资金
三、项目背景：
BYC晶圆表面钝化处理系统核心技术指标：
1）可处理材料尺寸：8英寸。
2）双腔室：承压腔室和常压腔室。
3）石英管内腔室，石英管内径≥240mm。
4）承压腔室：温区数量≥4，最高退火温度≥600℃；耐压≥5kg/cm^2；恒温区长度≥200mm，温度偏差±2℃。承压外腔室材质为镍基高温合金。
5）常压腔室：温区数量≥4，最高退火温度≥500℃；恒温区长度≥300mm，温度偏差±2℃；石英腔室可空冷。
6）腔室真空度：≤10Pa。从大气到10Pa的真空度，抽真空时间小于30分钟。
7）工作气体：氢气和氮气，高温汞蒸汽。
四、采用单一来源方式采购方式的原因及相关说明:
中国科学院上海技术物理研究所委托东方国际招标有限责任公司进行“BYC晶圆表面钝化处理系统”项目的公开招标，项目采购预算:134.31万元。
招标公告于2026年9月22日发布在《中国政府采购网》上。该项目于2026年10月13日13点30分在上海市虹口区玉田路500号15号楼111会议室开标。截至投标截止时间，本项目仅有1家投标人参与投标，为：青岛雍达电子装备有限公司。根据《中华人民共和国政府采购法》第三十六条规定，投标单位不足三家，应予废标。2026年10月13日在《中国政府采购网》正式发布废标公告。
经所外专业人员对该项目招标文件内容审核，不存在歧视性、不合理要求，不含倾向性或排他性内容。
本项目在整个招标过程中，没有投标人对招标文件提出质疑。
供应商名称：青岛雍达电子装备有限公司
地址： 山东省青岛市城阳区荣海四路10号2号楼308
五、公示意见：
公示期时间：2026年10月20日起至2026年10月27日止。
潜在采购供应商对公示内容有异议的，请在公示期内以书面形式(包括联系人、地址、联系电话)意见反馈至中国科学院上海技术物理研究所（zhukan@mail.sitp.ac.cn）。
六、采购人联系方式
地址：上海市虹口区玉田路500号
联系人：祝老师
联系电话：021-25051021
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