APS成像器件在民用成像、遥感等领域都有着重要的应用。上海技术物理研究所硅器件室围绕高性能APS器件技术的发展和相关任务的需求,2010年重点开展了面阵器件的攻关,目前已经研制出新的128×128和330×256器件,获得清晰的图像,取得关键突破。
新的128×128APS采用的是0.18μm的4T像素设计,单元像素小于10μm×10μm,器件研制一次成功,性能良好,为更大规模的APS器件研制奠定了基础。330×256APS采用的是0.5微米工艺,在可见光波段平均量子效率达到50%以上,用简易光学系统对330×256APS进行了成像试验,获得清晰照片(见附图),以上两种APS面阵器件的研制推动了APS技术的新发展。
图为330*256面阵成像图