“长波量子阱红外探测器研究”基金项目顺利结题

   近日，郭方敏博士负责承担的上海－应用材料研究与发展基金项目“长波量子阱红外探测器研究”经该基金办审批已正式结题。项目自2004年1月开始启动，至今已顺利攻克了线列器件的小光敏元制备技术，其中包括高效率光栅的制备，对光栅的周期、深度、无序度和均匀性进行较系统的研究与优化，通过研究电磁波在材料中传输特性，把二维光栅与其它类型的光耦合形式进行分析比较，解决了甚长波段最佳的光耦合方式。同时，形成了一套从线列光栅的台面刻蚀工艺、光栅制备包括互连和混合封装技术等完整制造流程，完成了256×1甚长波量子阱红外探测器线列芯片开发。项目在国家的长线列演示模块中得到应用，申请发明专利 6项，已被批准三项，发表了12篇论文。