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科研进展
所创新项目“Si基碲镉汞外延技术”完成总结报告
来源:
时间:2004-06-18
近日,所创新项目“Si基碲镉汞外延技术”完成总结报告。
一年来,该项目取得如下主要成果:
在国内首次成功实现了用MBE的方法制备3英寸Si基CdTe(211)B复合衬底薄膜材料。研究结果将直接应用于大面积SHgCdTeIRFPA材料的生长制备,对提高器件可靠性,增大规模尺寸有重要价值,对下一代大规模红外焦平面器件的发展具有重大意义。研究成果获得国内外广泛关注,已提国内刊物论文2篇,国际会议特邀报告2篇,国际刊物论文2篇,申请国家发明专利1项。
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