所二期创新项目“红外微光机电技术研究”完成

项目按照预定要求开展了微机械结构红外光电器件的设计和工艺研究，完成了敏感元微结构设计、表面微机械加工、氧化矾热敏薄膜制备、氮化钛导电薄膜制备等主要研究内容，初步建立了一套红外微机械光电器研制的工艺技术，取得良好的研究成果。项目开发的表面微机械加工技术有较好的推广应用前景，低应力复合介质膜制备技术和氧化矾热敏薄膜制备技术有创新性。项目研究与器件研制进行了较好的结合，在国内首先研制出了xxx元线阵微桥式非致冷焦平面样品和氮化钛红外微辐射元器件。项目完成博士论文1份，申请实用新型专利1项，发表期刊和会议学术论文4篇。