我所二期创新项目“碲镉汞材料中量子特征体系研究”项目执行完成

来源: 时间:2004-05-10

       本项目针对制约我国急需的红外光电技术中焦平面技术发展,关于器件工艺进行的创新性研究,最突出的方面是采用了材料芯片技术实现对工艺条件的统计性研究。这方面在国际未见报道,是本项目在国内外在红外光电子器件方面首先实现的。通过本课题的研究为焦平面工艺提供最优离子注入剂量的数据库。项目在同一片材料上制备出64个具有不同B离子注入剂量的系列器件单元,通过对电流-电压特性研究结的核心参量R0,通过剂量优化获得性能优于现有红外探测器的单元,并结合低温热退火工艺对器件改善。该项目的执行完成发明专利申请二项,发表SCI收录的论文7篇,申请到国家自然科学基金重点课题一项,培养博士研究生2名。



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